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第198章 国產EUV光源突破

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  华夏芯谷euv光源实验室的恆温车间里,空气仿佛被持续数年的高压凝成了固態。

  巨大的二氧化碳雷射器阵列占据了半个厂房,发出低沉的嗡鸣,如同蛰伏的巨兽。

  核心测试区的观察窗后,金秉洙博士双手紧握护栏,指节因用力而泛白,布满血丝的眼睛死死盯著主控屏幕上那条代表著生命线的绿色曲线,euv光源实时功率稳定度,此刻正顽强地停留在97.2%。

  距离量產要求的98%仅一步之遥,这一步,却如同天堑。

  “徐教授,情况不乐观!”

  一位年轻工程师快步走到徐文渊身边,递上最新的检测报告,声音带著焦虑,

  “连续运行四小时后,锡滴发生器喷嘴的錸铱鉭合金表面,出现了微观裂纹!锡滴喷射均匀度正在下降,等离子体稳定性受到影响!”

  徐文渊接过报告,目光锐利地扫过扫描电镜图像上那些如同蛛网般蔓延的细微裂纹。

  这位材料学泰斗眉头紧锁:

  “我们目前的錸铱鉭合金,抗疲劳强度已是国內顶尖,但euv光源的环境太苛刻了,每秒数万次雷射轰击,瞬时温度超两万度,这对任何材料都是极限考验。而且……”

  他顿了顿,语气沉重,

  “我们通过特殊渠道获取的高纯度錸金属即將耗尽,后续批次国產錸的纯度,恐怕难以维持现有性能。”

  林薇站在一旁,脸色凝重。

  阿斯莫的封锁不仅限於整机,已蔓延至核心材料和部件。

  “金博士,能否调整雷射参数?適当降低峰值功率,延长脉衝宽度,或许能减轻衝击?”

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