第182章 光刻机突破

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  测试那天,林建国在实验室里转了三圈。

  那台光刻机蹲在无尘间中央,银白色外壳上缠满传感器线,像爬了藤的老树。他站在玻璃窗外,盯著里头那片硅片,手心全是汗。

  孙小梅在调参数。手指拧一下旋钮,看一眼屏幕,再拧一下。额头的汗珠子顺著脸颊淌,淌到下巴,滴在工作服上,洇出一小片深色。

  “林组长,光源稳了。”

  林建国凑到屏幕前。曲线还在跳,比刚才稳了些。

  “再等等。”

  等了十分钟。曲线彻底平了。

  林建国吸了口气,按下启动键。

  机器转起来。嗡嗡的,像一群蜜蜂闷在玻璃罐里。硅片在工件台上缓缓移动,光源一闪一闪,把微小的图案刻上去。

  十分钟。

  二十分钟。

  第三十五分钟,警报突然响了。

  “滴——滴——滴——”

  孙小梅脸白了:“曝光剂量飘了!正在往上窜!”

  林建国扑到屏幕前。那条本该平直的绿线正斜著往上爬,照这个速度,用不了五分钟,整批硅片就得报废。

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