第452章 鹊桥
更新很快,看到就是赚到。
⚡ 自动翻页
开启后阅读到底自动进入下一章
⚡ 开启自动翻页更爽
看到章尾自动进入下一章,追书不用一直点。
  第452章 鹊桥
  实时动态补偿?
  梁孟松当然知道这个解决方案。
  类似的方案在半导体领域就有应用。
  “我们已经安装了大量的传感器,但它们只是在记录温度和振动。
  我要你重新编写算法,让它们成为预测和修正的神经系统。
  将光刻机的关键参数与环境传感器数据直接挂钩。
  基于过去数千小时的良率数据,建立一个预测模型,在环境变化尚未对光刻胶产生影响之前,模型就提前预测出焦点将要发生的漂移量。
  最后利用cg-1内部自带的高速微致动器,在微秒级别内,动态微调透镜组的位置,以抵消环境变化带来的光学失真。
  这就像一个外科医生在抖动的手术台上,依靠神经反射保持手部稳定。
  这样一来,光刻机就不再追求静止的完美,而是追求动态中的完美。
  环境越不稳定,我们的补偿系统就越有价值。”
  林燃停顿片刻后说道:
  “这套动态系统一旦成熟,不仅能够激活4nm的潜力,解决你现在所面临的问题,而且能够把我们7nm产线的良率再往上推一大截,和台积电7nm制程的良率达到一致。”
  梁孟松听完,他立刻明白了林燃的意图:不是去战胜自然法则,而是去适应它,并利用数据和算法来驾驭它。