第159章 月產15万片晶圆破缺口

  为了进一步提升生產节拍，他们对清洗、刻蚀等关键步骤的工艺窗口发起了挑战。

  孙浩带领团队，在確保良率不出现大幅波动的前提下，將某些步骤的处理时间压缩了百分之几。这看似微小的调整，累积到数十道工序、数万片晶圆的规模上，效果便相当可观。

  经过近一个月的磨合与优化，第一条战线的成果开始显现。

  通过並联作业和工艺微调，单片晶圆的平均生產周期从最初的约65小时成功压缩到了58小时。这使得现有三条產线的月投片能力，从基础的7.5万片提升到了9万片。

  第二条战线：新增设备的快速导入。

  这是提升產能的关键一跃，由林薇总负责，苏黛协调供应链。目標是通过引入新的国產关键设备，新增一条“准產线”，將月投片能力再提升6万片。

  然而，过程一波三折。国內设备商虽然態度积极，但其產品的稳定性和精度与国际顶尖水平尚有差距。

  首批交付的两台刻蚀机，在安装调试后，生產出的晶圆关键尺寸均匀性始终无法达到天权3號的严苛要求。

  “参数漂移太大，腔体內部的等离子体稳定性不够。”

  金秉洙在分析数据后，一针见血地指出了问题所在。

  林薇没有责怪设备商，而是亲自带领未来科技的工艺工程师和设备商的研发团队，组成联合攻关小组，驻扎在车间。

  他们一遍遍调试射频功率、气体流量和压力参数，甚至对设备腔体的某个內部结构提出了微小的改进建议。

  经过近两周不眠不休的调试和数十次实验，终於將这两台“国產心臟”的稳定性调整到了可接受的水平。

  设备问题刚解决，苏黛那边又遇到了麻烦。

  新增產线需要的大量高纯度特种气体和化学原料，原有的供应商短期內无法满足激增的需求。